一种X射线荧光光谱仪

摘要

本实用新型提供了一种X射线荧光光谱仪，其包括：X射线管，用于发出X射线；样品台，用于放置待检测样品；会聚透镜，设置在X射线管和样品台之间，X射线管发出的X射线经会聚透镜出射到样品台；探测器，探测来自样品台上的样品的X射线；平行束透镜，设置在样品台和探测器之间，来自样品的X射线经平行束透镜到达探测器；摄像头，用于获取样品图像；样品台位置调节装置，用于在至少三维方向上调节样品台的位置，样品台固定于样品台位置调节装置上；探测器位置调节装置，用于在至少三维方向上调节探测器的位置，探测器固定于探测器位置调节装置上。本实用新型可实现样品元素组份及元素空间分布的测量，机械结构简单，操作便利，测量精度高。

主权项

一种X射线荧光光谱仪，其特征在于，该光谱仪包括：X射线管，用于发出X射线；样品台，用于放置待检测样品；会聚透镜，其设置在所述X射线管和所述样品台之间，所述X射线管发出的X射线经所述会聚透镜出射到所述样品台；探测器，其探测来自所述样品台上的样品的X射线；平行束透镜，其设置在所述样品台和所述探测器之间，来自样品的X射线经所述平行束透镜到达所述探测器；摄像头，其用于获取样品图像；样品台位置调节装置，用于在至少三维方向上调节所述样品台的位置，其中所述样品台固定于所述样品台位置调节装置上；以及探测器位置调节装置，用于在至少三维方向上调节所述探测器的位置，其中所述探测器固定于所述探测器位置调节装置上。