质量转移工具

摘要

本发明公开了用于从承载衬底转移微型器件的系统和方法。在一个实施例中，一种质量转移工具包括关节运动式转移头组件、承载衬底保持器和致动器组件，该致动器组件用于调整关节运动式转移头组件和承载衬底保持器之间的空间关系。该关节运动式转移头组件可包括静电电压源连接件和支撑静电转移头阵列的衬底。

主权项

一种质量转移工具，包括：关节运动式转移头组件，所述关节运动式转移头组件包括：静电电压源连接件，用于与静电转移头的阵列电连接；和安装表面，用于保持衬底在所述静电电压源连接件上，所述衬底支撑所述静电转移头阵列；承载衬底保持器；和致动器组件，所述致动器组件调整所述关节运动式转移头组件和所述承载衬底保持器之间的空间关系。