光照射设备

摘要

根据实施例的光照射设备包含：第一收集器，设置在透射窗上方并且向上倾斜到所述透射窗的外部，所述第一收集器使在从衬底反射之后透射穿过所述透射窗的反射光一次偏移；以及第二收集器，设置在所述第一收集器与所述透射窗之间并且设置在相对于所述透射窗的中心轴比所述第一收集器更向外处，所述第二收集器使从所述第一收集器一次偏移的所述反射光二次偏移以耗散所述二次偏移的反射光。因此，可抑制或最小化从所述衬底反射的光的漫反射。并且，所述第一收集器可将所述反射光朝所述透射窗的外部引导以防止从衬底反射的所述反射光再入射到所述透射窗中。

主权项

一种用于将光照射到衬底上以处理所述衬底的光照射设备，其特征在于所述光照射设备包括：透射窗，所述光透射穿过所述透射窗，具有中心轴；第一收集器，设置在所述透射窗上方并且从所述透射窗的所述中心轴向上倾斜，所述第一收集器使在从所述衬底反射之后透射穿过所述透射窗的反射光一次偏移；以及第二收集器，设置在所述第一收集器与所述透射窗之间并且设置在比所述第一收集器离所述透射窗的所述中心轴更远处，所述第二收集器使从所述第一收集器一次偏移的所述反射光二次偏移以耗散所述二次偏移的反射光。