具有质量分布通道的磁‑机械谐振器传感器

摘要

本发明公开了一种磁‑机械谐振器传感器，该磁‑机械谐振器传感器具有质量分布通道。本公开的一些方面以感测装置(例如对于温度、湿气或物质的检测)为特征，该感测装置包括磁偏置层、谐振器、间隔件和环境变化受体。间隔件设置在磁偏置层和谐振器之间。谐振器表面中的至少一个谐振器表面具有预定义的通道。环境变化受体设置成邻近预定义的通道。响应于环境的变化，环境变化受体沿通道的一部分分布。

主权项

一种感测装置，所述感测装置包括：磁偏置层，所述磁偏置层具有第一磁表面和相对的第二磁表面，所述磁偏置层包括第一磁材料，谐振器，所述谐振器具有第一谐振器主表面和相对的第二谐振器主表面，所述谐振器包括第二磁材料，所述第二谐振器主表面面朝所述第一磁表面，所述第一谐振器主表面具有预定义的通道，间隔件，所述间隔件设置在所述磁偏置层和所述谐振器之间，和环境变化受体，所述环境变化受体设置成邻近所述预定义的通道。