| 发明名称 | 铌管靶材的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种铌管靶材的制造方法。该方法以铌锭为原料，依次包括一次机械加工步骤、加热步骤、扩内孔步骤、挤压步骤、热处理步骤以及二次机械加工成成品步骤。其具有工艺简单，材料利用率高，生产成本低，环保无污染等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN104651787B | 申请公布日期 | 2017.04.19 |
| 申请号 | CN201310596413.6 | 申请日期 | 2013.11.21 |
| 申请人 | 安泰科技股份有限公司 | 发明人 | 穆健刚;张凤戈;马志伟;文彬;王江廷;李建奎;刘健;陈鹏 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;B23P15/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人 | 刘春成;张向琨 |
| 主权项 | 一种铌管靶材的制造方法，其特征在于，以铌锭为原料，依次包括一次机械加工步骤、加热步骤、扩内孔步骤、挤压步骤、热处理步骤以及二次机械加工成成品步骤，其中：在所述一次机械加工步骤中，按挤压要求将原料加工成含内孔的圆柱形锭坯；在所述加热步骤中，在经一次机械加工后的锭坯表面涂覆抗氧化涂料，然后于900～1350℃保温0.5～2小时；在所述挤压步骤中，将已扩内孔的锭坯在900～1350℃保温0.1～0.5小时后进行挤压成型，变形量不小于70％；在所述热处理步骤中，将挤压成型后的铌荒管在真空或惰性气氛下，在1100～1350℃保温0.5～3小时，然后随炉冷却。 | ||
| 地址 | 100081 北京市海淀区学院南路76号 | ||