一种无污染高孔隙度钛基吸气元件的制备方法

摘要

本发明提供了一种无污染高孔隙度钛基吸气元件的制备方法，属于电真空吸气元件制造技术领域。以钛为基体的原料粉末在混料机上混合均匀，将混合均匀的原料粉末与NH₄HCO₃按照一定的比例混合均匀，完成后采用模压或冷等静压成型方法形成压坯件，将压坯件在真空状态下进行低温预处理，冷却后在高真空烧结炉内进行高温烧结，降温出炉后制备成孔隙度高于50％的真空吸气元件。该工艺方法优点在于过程简单易操作，吸气元件制备过程中没有有机粘结剂的存在，干净无污染，而且吸气材料选择范围广，吸气元件孔隙度高，吸气性能优良。

主权项

一种无污染高孔隙度钛基吸气元件的制备方法，其特征在于，该制备方法包括以下步骤：(a)以钛为基体的原料粉末在氩气保护条件下混合均匀；(b)将步骤(a)得到的原料粉末与NH₄HCO₃按照一定的比例混合均匀，然后采用模压或冷等静压成型方法形成压坯件；(c)将步骤(b)的压坯件在真空状态下进行低温预处理；(d)步骤(c)的压坯件冷却后在真空烧结炉内进行高温烧结，降温出炉后为得到孔隙度高于50％的真空吸气元件。