管尾关断装置以及基板处理装置

摘要

一种基板处理装置包含一平台、至少一管路以及一管尾关断装置。平台用以承载一基板。管路用以输出一流体至基板。管尾关断装置设置于管路的流体出口端，并包含一本体以及一活动件。本体具有至少一流道，其与管路的流体出口相对应，以使管路输出的流体流经流道。活动件设置于本体内，并于一导通位置以及一关断位置之间往复移动，以选择性关断流道。上述基板处理装置可在停止供应流体时防止流体滴落。

主权项

一种管尾关断装置，其设置于一管路的一流体出口端，其特征在于，该管尾关断装置包含：一本体，其具有至少一流道，其与该管路的该流体出口相对应，以使该管路中的一流体流经该流道；以及一活动件，其设置于该本体内，并于一导通位置以及一关断位置之间往复移动，以选择性关断该流道。