一种酸性蚀刻液回收装置

摘要

本实用新型适用于蚀刻组合物的再生领域，提供了一种酸性蚀刻液回收装置，包括酸性蚀刻液废液贮存装置、用于对贮存的酸性蚀刻液废液进行电解处理的电解装置及用于回收所述电解装置进行电解处理后产生的酸性蚀刻再生液的酸性蚀刻液再生装置，所述酸性蚀刻液废液贮存装置、所述电解装置及所述酸性蚀刻液再生装置顺次连接，所述酸性蚀刻液回收装置还包括用于回收所述电解装置产生的氯气的氯气回收装置，所述氯气回收装置分别与所述电解装置、所述酸性蚀刻液再生装置连接。本实用新型提供的一种酸性蚀刻液回收装置，通过氯气回收装置的使用，将电解过程中产生的氯气回收利用。这不仅解决了氯气排放问题，而且实现了对所产生的氯气的回收。

主权项

一种酸性蚀刻液回收装置，包括酸性蚀刻液废液贮存装置、用于对贮存的酸性蚀刻液废液进行电解处理的电解装置及用于回收所述电解装置进行电解处理后产生的酸性蚀刻再生液的酸性蚀刻液再生装置，所述酸性蚀刻液废液贮存装置、所述电解装置及所述酸性蚀刻液再生装置顺次连接，其特征在于，所述酸性蚀刻液回收装置还包括用于回收所述电解装置产生的氯气的氯气回收装置，所述氯气回收装置分别与所述电解装置、所述酸性蚀刻液再生装置连接；所述氯气回收装置包括用于吸收所述氯气并调节所述酸性蚀刻再生液酸度的化酸槽，所述化酸槽分别与所述电解装置、所述酸性蚀刻液再生装置连接。