一种硅基APD的集成电路

摘要

本发明公开了一种硅基APD的集成电路，属于光电集成技术领域，它包括衬底、硅基雪崩光电二极管、光伏二极管阵列、双极型NPN三极管和其它由电阻电容构成的管理电路，在所述的衬底上设有数组V型槽，所述的硅基雪崩光电二极管、光伏二极管阵列和双极型NPN三极管分别设在一个V型槽内、并与管理电路集成于同一衬底上。该集成电路结合了传统的V型槽工艺和双极工艺，电路结构简单，可靠性高，串扰小，功耗低。

主权项

一种硅基APD的集成电路，其特征在于：它包括衬底(1)、硅基雪崩光电二极管(2)、光伏二极管阵列(3)、双极型NPN三极管(4)和其它由电阻电容构成的管理电路(5)，在所述的衬底(1)上设有数组V型槽(100)，所述的硅基雪崩光电二极管(2)、光伏二极管阵列(3)和双极型NPN三极管(4)分别设在一个V型槽(100)内、并与管理电路(5)集成于同一衬底(100)上。