| 发明名称 | 盖板、承载装置及等离子体加工设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种盖板、承载装置及等离子体加工设备，其盖板采用立方氮化硼制作。本发明提供的盖板，其具有良好的导热性能、较高的硬度且不与等离子体发生反应等优势，从而不仅可以减小盖板与托盘之间的温差，提高使用寿命，而且不会改变反应腔室内的等离子体状态，即等离子体的含量、刻蚀选择比和刻蚀速率等因素不会受到影响，从而可以保证工艺结果。 | ||
| 申请公布号 | CN106571322A | 申请公布日期 | 2017.04.19 |
| 申请号 | CN201510643734.6 | 申请日期 | 2015.10.08 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 匡锡文 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 彭瑞欣;张天舒 |
| 主权项 | 一种盖板，用于与托盘相互配合来固定多个被加工工件，其特征在于，所述盖板采用立方氮化硼制作。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 | ||