一种旋转式热压键合装置及热压键合方法

摘要

一种旋转式热压键合装置，包括旋转单元、加载单元，旋转单元包括与加载单元相对的转盘及转盘驱动装置，加载单元包括加载板、及加载板驱动装置，转盘与加载板相对的端面上设有相互匹配的加热键合组件；本发明能在加热结束后迅速旋转切换至键合工位使两个零件加热完后快速键合；转盘与加载板之间连接有导向杆，防止加载板在作直线运动过程中发生偏移；加热单元的位置可调，定位精确度高；导热片设有凸边或凹槽对待键合零件进行加热，键合更牢固。本发明的热压键合方法设有隔空加热过程，防止受热后的待键合零件达到熔融温度后粘附到导热片上。

主权项

一种旋转式热压键合装置，其特征在于，一种旋转式热压键合装置，包括旋转单元、加载单元、支撑件A及支撑件B，所述旋转单元装设在支撑件A上，所述加载单元装设在支撑件B上，所述旋转单元包括与加载单元相对的转盘、及固定在支撑件A上的驱动转盘旋转的转盘驱动装置，所述加载单元包括加载板、及固定在支撑件B上的驱动加载板作水平直线往复运动使加载板靠近或远离转盘的加载板驱动装置，转盘与加载板相对的端面上设有一组或多组加热键合组件A，加载板与转盘相对的一面设有与各组加热键合组件A一一对应的加热键合组件B，每一组加热键合组件A及加热键合组件B均包括一个装夹待键合零件的夹持单元以及一个加热待键合零件的加热单元；同一组加热键合组件A中的夹持单元A及加热单元A到转盘的旋转轴心线的距离相等，加载板上与该组加热键合组件A对应的加热键合组件B中的夹持单元B及加热单元B到转盘的旋转轴心线的距离也相等；每一组加热键合组件A中的夹持单元A与加热单元A到转盘旋转轴心线的垂线之间的夹角等于加载板上每一组加热键合组件B中的夹持单元B与加热单元B到转盘旋转轴心线的垂线之间的夹角，使得转盘旋转过程中当夹持单元A和加热单元B轴向对准时，夹持单元B和加热单元A轴向对准；且在转盘旋转一定角度后，夹持单元A还可以与夹持单元B轴向对准。