一种纳米压痕仪压头校准装置

摘要

一种纳米压痕仪压头校准装置，包括探针、弹性悬臂梁、压电陶瓷扫描器件、信号处理器、单片机控制器、PC机，所述探针通过螺纹固定在弹性悬臂梁前端的圆形底座上，弹性悬臂梁固定在压电陶瓷扫描器件上，压电陶瓷扫描器件产生电信号经信号处理器后进入到单片机控制器，单片机控制器通过USB口与PC机连接。本实用新型的优点：本实用新型所述纳米压痕仪压头校准装置为纳米压痕仪的校准提供可靠的校准服务，实现测量结果的可靠性和等效可比，为我国纳米新材料和半导体微机电系统等产业的发展提供技术支撑，发挥积极的社会和经济效益。

主权项

一种纳米压痕仪压头校准装置，包括探针（1）、弹性悬臂梁（2）、压电陶瓷扫描器件（3）、信号处理器（4）、单片机控制器（5）、PC机（6），其特征在于：所述探针（1）通过螺纹固定在弹性悬臂梁（2）前端的圆形底座上，弹性悬臂梁（2）固定在压电陶瓷扫描器件（3）上，压电陶瓷扫描器件（3）产生电信号经信号处理器（4）后进入到单片机控制器（5），单片机控制器（5）通过USB口与PC机（6）连接。