金刚石线切割硅片用槽轮

摘要

本实用新型公开了一种金刚石线切割硅片用槽轮，其包括槽轮主体，槽轮主体包括刚性主体和设置在刚性主体外部的聚氨酯涂覆层，槽轮主体头部直径和尾部直径相同，槽轮主体中部直径大于槽轮主体头部、尾部直径，槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。本实用新型的有益效果在于：本实用新型所述的槽轮主体中部直径大于槽轮主体头部、尾部直径，且槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化，有效改善槽轮中部线弓及硅片参数离散的情况，提高了硅片成品率。

主权项

金刚石线切割硅片用槽轮，其包括槽轮主体，所述槽轮主体包括刚性主体和设置在所述刚性主体外部的聚氨酯涂覆层，其特征在于，所述槽轮主体头部直径和尾部直径相同，所述槽轮主体中部直径大于所述槽轮主体头部、尾部直径，所述槽轮主体的头部、尾部至中部之间的过渡区域直径均按线性变化。