一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法

摘要

本发明公开了一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法，该低热噪声高反射光学复合膜结构以超低膨胀光学材料为基底；在基底上镀膜，所述膜由蓝宝石膜层和金刚石膜层交替组成多层膜系，蓝宝石膜层和金刚石膜层之间通过键合或光胶方式结合而成。本发明以蓝宝石和金刚石材料为镀膜层，利用这两种材料具有极低的机械损耗因子，可以大大降低镀膜材料的布朗热噪声，同时蓝宝石和金刚石这两种材料的折射率差距较大，可以形成高低膜层，实现较高的反射率。本发明设计的复合膜可以应用于光学参考腔、光学干涉仪、超窄线宽激光器、光学原子钟、引力波探测等高科技领域。

主权项

一种低热噪声高反射光学复合膜结构，其特征在于，以超低膨胀光学材料为基底；在基底上镀膜，所述膜由蓝宝石膜层和金刚石膜层交替组成多层膜系，蓝宝石膜层和金刚石膜层之间通过键合或光胶方式结合而成。