发明名称 |
扫描机台程式控制方法 |
摘要 |
本发明涉及半导体技术领域,公开了一扫描机台程式控制方法,包括步骤:定义扫描程式的机台目录及文件位置;控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置;控制系统获取扫描程式文件列表信息,并对文件进行解析;提取扫描程式信息,生成扫描程式关键值文件,并存储至控制系统。该方法生成的扫描程式关键值文件包括所有扫描机台、所有扫描程式的所有文件信息,在需要对某些关键值进行查询或提取时,只需将扫描程式关键值文件备份至本地进行搜索或筛选,即可自动生成包括且仅包括所需关键值信息的表格,能够实现对多产品、多半导体层的多扫描机台程式及关键参数值的统一控制,实现所需扫描程式信息的快速、高效查询和提取。 |
申请公布号 |
CN103646059B |
申请公布日期 |
2017.04.19 |
申请号 |
CN201310631420.5 |
申请日期 |
2013.11.29 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
徐燕菁;陈旭;邵雄 |
分类号 |
G06F17/30(2006.01)I |
主分类号 |
G06F17/30(2006.01)I |
代理机构 |
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 |
代理人 |
吴世华;陶金龙 |
主权项 |
一种扫描机台程式控制方法,其特征在于,包括步骤:步骤S1:定义扫描程式的机台目录及文件位置;步骤S2:控制系统连接至各扫描机台的扫描程式文件位置;步骤S3:控制系统获取扫描程式文件列表信息,并对文件进行解析;其中,当控制系统上无扫描程式关键值文件存储时,即:步骤S3中第一次获取扫描程式文件列表信息、并对文件进行解析时,提取扫描程式信息后,生成初始扫描程式关键值文件;而当控制系统上已存储有扫描程式关键值文件时,则重复执行步骤S3,此时,控制系统通过获取扫描程式文件列表信息和对文件的解析,自动获取扫描程式机台目录中文件的更新状态;步骤S4:提取扫描程式信息,生成扫描程式关键值文件,并存储至控制系统;其中,各扫描机台中的扫描程式的机台目录均采用相同的定义规则,以及扫描程式的.xml文件中扫描设定关键值采用相同的命名;当扫描程式机台目录中文件有新增、删除或修改时,控制系统更新扫描程式关键值文件中扫描程式的信息;即:当扫描程式机台目录中文件有更新时,执行步骤S4,更新扫描程式关键值文件;当扫描程式机台目录中文件无更新时,不执行步骤S4,间隔一定时间后,再次执行步骤S3。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |