发明名称 光纤用四氯化硅在线检测装置
摘要 本发明公开了一种光纤用四氯化硅在线检测装置。该检测装置包括待检测产品输送装置、氮气吹扫装置、样品池以及红外检测仪,样品池通过连接管路选择性地与待检测产品输送装置或氮气吹扫装置相连通;红外检测仪用以对样品池中的光纤用四氯化硅进行检测。该检测装置通过连接管路选择性地将样品池和待检测产品输送装置或氮气吹扫装置相连通。如此设置后,可以先利用氮气吹扫装置将连接管路和样品池乃至整个四氯化硅流通通道中的空气和颗粒杂质等污染源进行吹扫除去,然后通过连接管路将位于待检测产品输送装置中的光纤用四氯化硅流入样品池中,以红外检测仪对样品池中的光纤用四氯化硅进行检测。利用该装置进行检测,系统密闭,检测在线,结果准确。
申请公布号 CN106568775A 申请公布日期 2017.04.19
申请号 CN201610938436.4 申请日期 2016.10.24
申请人 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 发明人 郭树虎;赵雄;楚东旭;姜利霞;王磊;万烨;严大洲
分类号 G01N21/84(2006.01)I 主分类号 G01N21/84(2006.01)I
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人 赵囡囡;吴贵明
主权项 一种光纤用四氯化硅在线检测装置,其特征在于,包括:待检测产品输送装置(10);氮气吹扫装置(20);样品池(30),所述样品池(30)通过连接管路(40)选择性地与所述待检测产品输送装置(10)或所述氮气吹扫装置(20)相连通;以及红外检测仪(50),所述红外检测仪(50)用以对所述样品池(30)中的光纤用四氯化硅进行检测。
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