基于湿敏软管的集成温湿压柔性传感器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种基于湿敏软管的柔性集成温湿压传感器及其制备方法，传感器包括：湿敏聚合物软管衬底，以及设置于湿敏聚合物软管衬底上的电容式湿度传感器、温度传感器和压阻式压力传感器；电容式湿度传感器由网状电极构成并以湿敏聚合物软管衬底作为电容介质；温度传感器为由铂电极和铂铑电极组成的热电偶，且一部分铂铑电极覆盖一部分铂电极以构成热电偶的热结点；压阻式压力传感器由铂丝组成，铂丝环绕在湿敏聚合物软管衬底的外侧面上。本发明网状电极的电阻型湿度传感器结构简单、精度高，使湿敏聚合物介质与空气接触面积更大有利于吸湿；薄膜热电偶结构简单，测量精度高，可以有效的检测多个方向压力的变化。

主权项

一种基于湿敏软管的集成温湿压柔性传感器，其特征在于，包括：湿敏聚合物软管衬底，以及设置于所述湿敏聚合物软管衬底上的电容式湿度传感器、温度传感器和压阻式压力传感器；其中：所述电容式湿度传感器由网状电极构成并以湿敏聚合物软管衬底作为电容介质，所述网状电极对称分布在湿敏聚合物软管衬底的侧壁上，形成电容式湿度传感器的上、下极板；所述温度传感器为由铂电极和铂铑电极组成的热电偶，且一部分铂铑电极覆盖一部分铂电极以构成热电偶的热结点；铂电极和铂铑电极溅射在湿敏聚合物软管衬底的侧壁上，用于监测温度的变化；所述压阻式压力传感器由铂丝组成，所述铂丝环绕在所述湿敏聚合物软管衬底的外侧面上，用于检测湿敏聚合物软管衬底的拉伸、弯曲、扭转的多个方向力的变化。