一种新型高精度自动上片石英舟

摘要

一种新型高精度自动上片石英舟，包括上侧槽棒、下侧槽棒、左侧板、右侧板、X向标准凸台、Y向标准凸台、支撑点，所述上侧槽棒位于石英舟上部，所述下侧槽棒位于上侧槽棒下部且与上侧槽棒平行，所述左侧板、右侧板分别位于石英舟的左、右侧边缘，所述X向标准凸台位于左侧板中间段位，所述Y向标准凸台位于石英舟左右侧板侧面上，且分别与左侧板和右侧板处于同一竖直线上，所述支撑点位于右侧板的端面上。其有益效果为：保证圆槽棒直度控制在万分之三以内，方槽棒平整度达到标准单位英寸面积5um，各被测量点和相邻面交角达到分级标准，槽型和槽距达到一致，确保每批石英舟槽起始尺寸的精度和一致性，防止石英舟在高温下因重力引起的热变形。

主权项

一种新型高精度自动上片石英舟，包括上侧槽棒（1）、下侧槽棒（2）、左侧板（3）、右侧板（4）、X向标准凸台（5）、Y向标准凸台（6）、支撑点（7），其特征在于：所述的上侧槽棒（1）位于石英舟的上部，所述的下侧槽棒2位于上侧槽棒1下部且与上侧槽棒（1）平行，所述的左侧板（3）位于石英舟的左侧边缘，所述的右侧板（4）位于石英舟的右侧边缘，所述的X向标准凸台（5）位于左侧板（3）的中间段位，所述的Y向标准凸台（6）有两个，位于石英舟左右侧面侧面上，且分别与左侧板（3）和右侧板（4）处于同一竖直线上，所述的支撑点（7）位于右侧板（4）的端面上。