独立箱式蒸发源装置

摘要

本实用新型给出了一种独立箱式蒸发源装置，包括至少一个蒸发源和加热托板，还包括箱体，所述蒸发源和加热托板都设置在箱体内，所述蒸发源对准加热托板，箱体内壁两侧对应加热托板位置开有进料孔和出料孔，基底工件依次经过进料孔、加热托板和出料孔构成供基底工件经过的传送通道，箱体内壁上还开有排气孔。本独立箱式蒸发源装置可非常方便地进行蒸发源的更换、原物料的填充、以及真空蒸发镀膜设备中包括蒸发源在内的设备各个部件的维护保养，极大提高了设备利用率；同时，能够减少硒对真空室及相关金属部件的腐蚀，非常适合于大规模生产的应用，有助于铜铟镓硒薄膜太阳能电池制造成本的降低。

主权项

一种独立箱式蒸发源装置，包括至少一个蒸发源和加热托板，其特征为：还包括箱体，所述蒸发源和加热托板都设置在箱体内，所述蒸发源对准加热托板，箱体内壁两侧对应加热托板位置开有进料孔和出料孔，基底工件依次经过进料孔、加热托板和出料孔构成供基底工件经过的传送通道，箱体内壁上还开有排气孔。