多叶片节流阀

摘要

一种用于真空处理室的多叶片节流阀，包括：枢轴连接到多个可旋转叶片中的每一个的后侧并远离该后侧向后延伸的反向叶片；及固定在预定位置的固定式反向叶片偏角调节组件，其具有朝向所述反向叶片横向延伸足以支撑所述反向叶片的预定距离的组装销；其中，当相应可旋转叶片旋转时，所述固定式偏角调节组件所述导致反向叶片在与相应可旋转叶片实质上平行的位置和与相应可旋转叶片横向的位置之间的范围中枢轴转动。

主权项

一种用于真空处理室的多叶片节流阀，所述多叶片节流阀包括：具有贯通开口、暴露于所述真空处理室的内部及暴露于大气压力的外部的节流室主体；安装在所述贯通开口内用于控制通过所述贯通开口的气体流的多个可旋转叶片；及用于旋转所述多个可旋转叶片的驱动机构；所述多叶片节流阀还包括：枢轴连接到所述多个可旋转叶片中的每一个的后侧并远离每一相应的可旋转叶片向后延伸的反向叶片；及固定在预定位置的固定式反向叶片偏角调节组件，所述叶片偏角调节组件具有朝向所述反向叶片横向延伸足以支撑所述反向叶片的预定距离的组装销；其中，当相应可旋转叶片旋转以控制通过所述贯通开口的气体流时，所述固定式偏角调节组件导致所述反向叶片在与相应可旋转叶片实质上平行的位置和与相应可旋转叶片横向的位置之间的范围中枢轴转动。