具有背保护层的钛箔太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳电池领域，具体公开了一种具有背保护层的钛箔太阳能电池及其制备方法。本发明的具有背保护层的钛箔太阳能电池，在基底的太阳能接收侧依次形成有扩散阻挡层、第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层，在基底的太阳能接收侧的相对侧形成有背保护层，背保护层为单层，扩散阻挡层为三层或三层以上结构。本发明的具有背保护层的钛箔太阳能电池，背保护层能有效避免高温腐蚀性气氛工艺过程中对基底的损害，扩散阻挡层能有效阻挡基底杂质元素进入吸收层，能够显著增加扩散阻挡层与基底、第一电极层的结合力。

主权项

具有背保护层的钛箔太阳能电池，包括钛箔基底和在钛箔基底上依次形成的扩散阻挡层、第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层，其特征在于：所述钛箔基底的太阳能接收侧的相对侧形成有背保护层，所述背保护层为单层，所述背保护层由氮化钛制成，所述背保护层厚度为200 nm；所述第一电极层为钼薄膜层；所述扩散阻挡层为三层结构，包括靠近基底层、中间层和靠近第一电极层；所述靠近基底层由钛制成，所述中间层由氮化钛制成，所述靠近第一电极层由钛制成，所述扩散阻挡层的厚度为1200nm。