一种热丝拉紧装置

摘要

一种热丝拉紧装置，属于机械滑动部件与装置，用于有效地防止热丝因加热而产生的伸长下垂。本发明包括盒体、滑轨，滑动板、支撑板、上端盖、左端盖、中间连接板、左端连接板、钼棒螺杆，滑轨、滑动板以及固定在滑动板上方的支撑板共同构成了滑动系统；使用时，所述左端盖通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接，左端盖的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。本发明利用简单的弹簧、滑道等机械部件以及铜片的温度特性，简单有效的实现了HFCVD系统中热丝在加热过程中自动拉紧的目的，不仅保证衬底材料附近温度场的稳定，而且提高了热丝的寿命。

主权项

一种热丝拉紧装置，包括盒体(10)、滑轨(20)，滑动板(22)、支撑板(23)、上端盖(13)、左端盖(14)、中间连接板(30)、左端连接板(31)、钼棒螺杆(40)，其特征在于：所述盒体(10)由四个侧面和底面连接构成，上端面敞开，盒体(10)左侧面开有窗口，盒体(10)右侧面装有穿过右侧面的套筒(11)，套筒(11)内孔具有内螺纹，调节螺杆(12)旋入套筒(11)与其螺纹配合；所述滑轨(20)通过滑轨垫板(21)固定于盒体(10)内底面上，滑轨(20)上装有滑动板(22)，两者构成滑动配合，所述支撑板(23)固定在滑动板(22)上，支撑板(23)的右端和所述调节螺杆(12)的左端之间通过弹簧(15)连接；所述上端盖(13)通过螺栓连接于所述盒体(10)上端面，将其封闭；所述左端盖(14)通过螺栓连接于所述盒体(10)左侧面，左端盖(14)上开有贯穿口(14C)，其位置与盒体左侧面的窗口对应；所述中间连接板(30)置于所述支撑板(23)之上并受其制约而随其移动，中间连接板(30)的左端穿过所述盒体左侧面的窗口及左端盖(14)的贯穿口，与所述左端连接板(31)的右端连接，所述左端连接板(31)的左端开有螺纹孔(31A)，所述钼棒螺杆(40)通过该螺纹孔与左端连接板(31)螺纹连接，铜片电极(41)通过螺母固定于钼棒螺杆(40)的下端，钼棒螺杆(40)的上端用于安装热丝架；使用时，所述左端盖(14)通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接，左端盖(14)的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。