接合装置以及推估接合工具的落点位置的方法

摘要

具有倾斜光学系统30的接合装置10的控制部40使毛细管24下降至第1高度位置，而计算出倾斜光学系统30的拍摄面上的毛细管24的前端部的位置A₁₁与毛细管的前端部的像的位置A₁₂，同样地，使毛细管24下降至更低的第2高度位置而计算出拍摄面上的毛细管24的前端部的位置A₂₁与毛细管的前端部的像的位置A₂₂，基于所计算出的A₁₁、A₁₂、A₂₁、A₂₂四个位置数据、第1高度位置及第2高度位置，推估毛细管24相对于接合对象物8的落点位置。由此，本发明在接合装置中使用倾斜光学系统而能够进一步提高接合处理的位置精度。

主权项

一种接合装置，其特征在于包括：接合工具，安装于接合头；平台，使所述接合头在XY方向上滑动自如地移动；Z移动机构，使所述接合工具在与XY平面垂直的Z方向上自如地移动；平面物体，配置于所述接合工具的下方，捕捉与所述接合工具相关的像；倾斜光学系统，自斜上方观测所述接合工具与所述平面物体；以及控制部，执行推估所述接合工具的落点位置的处理，所述控制部构成为能够执行下述步骤：使所述接合工具沿着Z方向在不与所述平面物体接触的范围内，下降至规定的第1高度位置；在所述第1高度位置，利用所述倾斜光学系统，对所述接合工具的前端部及所述平面物体所捕捉的所述接合工具的前端部的所述像进行拍摄，计算出拍摄面上的所述接合工具的前端部的位置A₁₁与所述接合工具的前端部的所述像的位置A₁₂；使所述接合工具在不与所述平面物体接触的范围内，下降至比所述第1高度位置低的第2高度位置；在所述第2高度位置，利用所述倾斜光学系统，对所述接合工具的前端部及所述平面物体所捕捉的所述接合工具的前端部的所述像进行拍摄，计算出所述拍摄面上的所述接合工具的前端部的位置A₂₁与所述接合工具的前端部的所述像的位置A₂₂；基于所计算出的A₁₁、A₁₂、A₂₁、A₂₂四个位置数据、所述第1高度位置及所述第2高度位置，推估所述接合工具相对于所述接合对象物的所述落点位置。