| 发明名称 | 蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL元件 | ||
| 摘要 | 在蒸镀装置(11)中设置有：第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)；与该第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)连接的共用配管(27)；与共用配管(27)连接并且放出来自第一蒸镀源(12)及第二蒸镀源(13)中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的蒸镀颗粒放出源(29)；与蒸镀颗粒放出源(29)连接的排气阀(32)；和与排气阀(32)连接的排气泵(34)。 | ||
| 申请公布号 | CN106574358A | 申请公布日期 | 2017.04.19 |
| 申请号 | CN201580041850.9 | 申请日期 | 2015.07.24 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 越智贵志;川户伸一;小林勇毅;松永和树;菊池克浩;市原正浩;松本荣一 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳;杨艺 |
| 主权项 | 一种蒸镀装置，其特征在于，包括：多个蒸镀源；与所述多个蒸镀源连接的至少一个共用配管；与所述至少一个共用配管连接并且放出来自所述多个蒸镀源中的各个蒸镀源的蒸镀颗粒的至少一个蒸镀颗粒放出源；与所述至少一个蒸镀颗粒放出源连接的排气阀；和与所述排气阀连接的排气泵。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||