微波源高密度低能离子束生物改性设备

摘要

本发明提供一种微波源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，所述离子源包括电离室以及置于电离室上方的微波系统和波导管，该电离室上端与波导管之间通过陶瓷窗连接，电离室下端与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于电离室的外侧，所述微波系统在电离室内产生微波等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。本发明微波离子源没有阴极，不会产生阴极蒸发，不会产生二次电子发射，不会污染等离子体，可以形成非常纯净的离子束。

主权项

一种微波源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，其特征在于，所述离子源包括电离室以及置于电离室上方的微波系统和波导管，该电离室上端与波导管之间通过陶瓷窗连接，电离室下端与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于电离室的外侧，所述微波系统在电离室内产生微波等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。