| 发明名称 | 一种晶圆装卸装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及晶圆技术领域，特别涉及一种晶圆装卸装置，包括：移动平台框架、移动平台直线轴、第一缓存组件、第二缓存组件、吸爪及晶圆托盘。移动平台框架与移动平台直线轴连接；第一缓存组件固定在移动平台框架上，用于放置晶圆；第二缓存组件固定在移动平台直线轴上，用于放置晶圆；吸爪用于向第一缓存组件或第二缓存组件送入晶圆，或者从第一缓存组件或第二缓存组件取出晶圆；晶圆托盘用于从第一缓存组件或第二缓存组件取出晶圆送入处理仪器，或者将处理后的晶圆放置在第一缓存组件或第二缓存组件上。本实用新型提供的晶圆装卸装置，提高了晶圆的装卸效率。 | ||
| 申请公布号 | CN206116367U | 申请公布日期 | 2017.04.19 |
| 申请号 | CN201620989965.2 | 申请日期 | 2016.08.30 |
| 申请人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明人 | 陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人 | 房德权 |
| 主权项 | 一种晶圆装卸装置，其特征在于，所述装置包括：移动平台框架、移动平台直线轴、第一缓存组件、第二缓存组件、吸爪及晶圆托盘；所述移动平台框架与所述移动平台直线轴连接；所述第一缓存组件固定在所述移动平台框架上，所述第一缓存组件用于放置晶圆；所述第二缓存组件固定在所述移动平台直线轴上，所述第二缓存组件用于放置晶圆；所述吸爪用于向所述第一缓存组件或第二缓存组件送入晶圆，或者从所述第一缓存组件或第二缓存组件取出晶圆；所述晶圆托盘用于从第一缓存组件或第二缓存组件取出晶圆送入处理仪器，或者将处理后的晶圆放置在所述第一缓存组件或第二缓存组件上。 | ||
| 地址 | 314006 浙江省嘉兴市南湖区凌公塘路3339号(嘉兴科技城) | ||