基于带电处理的基板卡定方法及基板卡定系统

摘要

本发明公开一种基于带电处理的基板卡定方法及基板卡定系统，其旨在提供更加简化的卡定方法及卡定系统，尤其提供一种可稳定地卡定所述基板并易于解卡定的新型卡定方法及卡定系统。为此，使基板与卡盘板的导电板携带极性相反的电荷，从而使强力的静电引力波及到紧贴的界面处而引起强烈的卡定。即使在基板与卡盘紧贴的情况下将界面放大而观察，依然会发现界面不平整且呈现一种不规则的凹凸状，因此将会具有完全吻合的部分和处于相离状态的部分，其中紧贴部分处的静电引力极强，从而可以实现强力卡定。对此，使基板和导体板带电并紧贴，从而促发极强的卡定。基板与导体板紧贴的界面处的离距极小，因此与距离的平方成反比的库仑力的作用强烈。

主权项

一种基板与卡盘板的贴附方法，其特征在于，在基板的一个表面或两个表面形成静电，并将携带静电的基板安置于卡盘板，以利用卡盘板中感应生成的电荷而借助于静电力将基板与卡盘板进行贴附，所述卡盘板由导体构成或者由具有绝缘体涂覆膜的导体构成。