表面声波谐振器以及表面声波振荡器

摘要

本发明提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器具有：欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，其由铝或以铝为主体的合金构成，并且在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的表面声波，俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，上述表面声波的波长λ、上述电极指间槽的深度G、以及上述电极指的线占有率η满足下式：0.01λ≤G≤0.094，而且‑2.5×G/λ+0.675≤η≤‑2.5×G/λ+0.775。

主权项

一种表面声波谐振器，其特征在于，该表面声波谐振器具有：欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，该叉指换能器的电极膜的材料由铝或以铝为主体的合金构成，并且该叉指换能器在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的瑞利型的表面声波，俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，上述表面声波的波长λ、上述电极指间槽的深度G以及上述电极指的线占有率η满足如下关系：0.01λ≤G≤0.094λ，而且，‑2.5×G/λ+0.675≤η≤‑2.5×G/λ+0.775。