发明名称 用于集成电路的颈缩互连熔丝结构
摘要 一种包括熔丝的互连熔丝结构以及制造这种结构的方法,该熔丝具有颈缩线段。由所施加的熔丝编程电压驱动的电流可以断开颈缩熔丝段以影响IC的操作。在实施例中,熔丝结构包括距中心互连线等距离的相邻互连线对。在其它实施例中,中心互连线以及相邻互连线至少其中之一包括横向宽度相差相同且互补的量的线段。在其它实施例中,中心互连线在颈缩线段的相对端部处被互连。在其它实施例中,利用间距减小基于间隔体的图案化工艺制造颈缩线段。
申请公布号 CN106575650A 申请公布日期 2017.04.19
申请号 CN201480077847.8 申请日期 2014.05.08
申请人 英特尔公司 发明人 陈占平;A·W·杨;S·郑;U·巴塔查里亚;C·H·华莱士
分类号 H01L23/62(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I 主分类号 H01L23/62(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 陈松涛;韩宏
主权项 一种集成电路(IC)熔丝结构,包括:设置在衬底上方的互连熔丝线,所述熔丝线包括与颈缩熔丝段邻接的标称熔丝段,其中,所述标称熔丝段具有标称横向宽度,并且所述颈缩熔丝段具有小于所述标称横向宽度的颈缩横向宽度;设置在所述衬底上方并且与所述熔丝线共面的互连线对,并且所述互连线中的每一条互连线与所述标称熔丝段和所述颈缩线段两者的相对边缘等距离间隔开;以及至所述熔丝线的电连接对,所述连接对包括至所述标称熔丝段的第一连接以及通过至少所述颈缩熔丝段与所述第一连接间隔开的第二连接。
地址 美国加利福尼亚