发明名称 |
一种刻蚀装置 |
摘要 |
本实用新型提供了一种刻蚀装置。本实用新型刻蚀装置包括1个或多个刻蚀槽和过滤槽;所述过滤槽中设有过滤装置;所述过滤槽分别与每个刻蚀槽通过管路相连;所述过滤槽与循环装置通过管路相连,所述循环装置分别与每个刻蚀槽通过管路相连。本实用新型刻蚀装置通过循环装置,使刻蚀液循环流动,仅清理过滤槽中的废渣即可。本实用新型刻蚀装置具有结构简单,可循环利用刻蚀液,能够提高生产效率和刻蚀液的利用效率等优点。本实用新型刻蚀装置的使用方法简单,可连续进行刻蚀工艺,能够提高生产效率和刻蚀液的利用效率。 |
申请公布号 |
CN206098354U |
申请公布日期 |
2017.04.12 |
申请号 |
CN201620973587.9 |
申请日期 |
2016.08.29 |
申请人 |
贵州乾萃科技有限公司 |
发明人 |
杨泽新 |
分类号 |
H01L21/306(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/306(2006.01)I |
代理机构 |
北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 |
代理人 |
李进 |
主权项 |
一种刻蚀装置,其特征在于,所述刻蚀装置包括1个或多个刻蚀槽和过滤槽;所述过滤槽中设有过滤装置;所述过滤槽分别与每个刻蚀槽通过管路相连;所述过滤槽与循环装置通过管路相连,所述循环装置分别与每个刻蚀槽通过管路相连。 |
地址 |
563000 贵州省遵义市新蒲经济开发区办公室二楼202室 |