薄板输送装置及薄板清扫系统

摘要

本发明的课题在于提供一种能够高效翻转薄板的薄板输送装置及薄板清扫系统。本发明的薄板输送装置包括：吸附部，在第一交接区域吸附薄板的第一面，并在第二交接区域释放所述薄板；臂，在一端侧附设有所述吸附部；以及旋转部，支撑所述臂的另一端侧，能够以旋转轴为中心360°旋转，所述旋转轴位于与被吸附于所述吸附部时的所述薄板平行的平面上。

主权项

一种薄板输送装置，包括：吸附部，在第一交接区域吸附薄板的第一面，在第二交接区域释放所述薄板；臂，在所述臂的一端侧附设有所述吸附部；以及旋转部，支撑所述臂的另一端侧，并能以旋转轴为中心360°旋转，其中，所述旋转轴位于与被吸附于所述吸附部时的所述薄板平行的平面上，所述臂能够伸缩，所述薄板输送装置还包括控制所述吸附部、所述臂和所述旋转部的动作的控制装置、以及分别检测有无所述薄板并将检测信号发送给所述控制装置的第一传感器和第二传感器，所述第一传感器在所述第一交接区域中、在伸长所述臂时的所述吸附部的附近检测有无所述薄板，所述第二传感器在所述第一交接区域中、在所述臂的支撑于所述旋转部一侧的所述另一端附近检测有无所述薄板。