发明名称 | 具有排气孔的光感测器件 | ||
摘要 | 本发明的光感测器件包括衬底、位于衬底上的光感测区、以及位于所述衬底上方的光屏蔽层。光屏蔽层不覆盖光感测区。至少一个排气孔形成穿过光屏蔽层。 | ||
申请公布号 | CN104051480B | 申请公布日期 | 2017.04.12 |
申请号 | CN201310498884.3 | 申请日期 | 2013.10.22 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 蔡宗翰;李国政;张简旭珂;郑志成 |
分类号 | H01L27/146(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;孙征 |
主权项 | 一种光感测器件,包括:衬底;光感测区,位于所述衬底上;光屏蔽层,位于所述衬底上方,所述光屏蔽层不覆盖所述光感测区,所述光屏蔽层包括金属材料;以及至少一个排气孔,形成为穿过所述光屏蔽层,所述衬底的被所述至少一个排气孔围绕的区域不具有所述金属材料。 | ||
地址 | 中国台湾新竹 |