一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶，包括耐高温绝缘高纯刚玉芯，耐高温绝缘高纯刚玉芯内设有五组铂铑热电偶，耐高温绝缘高纯刚玉芯上端焊接有铝制接头，铝制接头一侧通过不锈钢软管连接有镍基插头支架，镍基插头支架中固定有五组陶瓷插头，五组铂铑热电偶分别通过从不锈钢软管中穿过的补偿导线与五组陶瓷插头一一对应连接。本实用新型高温段精度高，热响应时间短，体积小。在不增加热电偶数量的情况下，能够同时准确进行多个点位的温度采集，实现了一支热电偶同时采集5个点位的温度，结构尺寸可灵活设计。

主权项

一种单晶硅烧结炉专用多点阶梯测温铂铑热电偶，其特征在于：包括耐高温绝缘高纯刚玉芯，耐高温绝缘高纯刚玉芯内设有五组铂铑热电偶，每组铂铑热电偶分别由一个铂丝和一个铂铑合金丝首尾对应焊接形成闭合回路后构成，耐高温绝缘高纯刚玉芯上端焊接有铝制接头，五组铂铑热电偶分别伸入铝制接头中，铝制接头一侧焊接有不锈钢软管，不锈钢软管管端连接有镍基插头支架，镍基插头支架中固定有五组陶瓷插头，五组铂铑热电偶分别通过从不锈钢软管中穿过的补偿导线与五组陶瓷插头一一对应连接。