用于从噪声测量的功率频谱提取主要频谱分量的方法

摘要

本申请的系统基于使用两种或更多扫描速度获得的扫描测量的功率谱的频谱分量，确定被测量的材料的扫描测量内的机器横向(CD)变化和/或机器纵向(MD)变化。具有相同空间频率的主要频谱分量被用来识别CD变化，而且具有相同时间频率的主要频谱分量被用来识别MD变化。通过对功率谱的所有频谱分量进行排序以形成第一有序功率谱，可以从噪声测量的功率谱中提取主要频谱分量。用第一多项式表示有序功率谱的背景噪声，关于第一多项式设置第一阈值。将有序功率超过第一阈值的频谱分量从有序功率谱中去除，以形成噪声功率谱。用第二多项式表示功率谱中的噪声功率谱，关于第二多项式设置第二阈值。将功率谱超过第二阈值的频谱分量识别为功率谱的主要频谱分量。

主权项

一种用于从噪声测量的功率频谱提取主要频谱分量的方法，包括：从功率谱中以大小顺序对所有频谱分量进行排序，以形成有序功率谱；用第一多项式表示所述有序功率谱的背景噪声；关于所述第一多项式设置第一阈值；将所述有序功率谱的频谱分量与所述第一阈值比较；将所述功率谱的超过所述第一阈值的频谱分量从所述有序功率谱中去除，以形成噪声功率谱；用第二多项式表示所述功率谱中的所述噪声功率谱；关于所述第二多项式设置第二阈值；以及将所述功率谱的超过所述第二阈值的频谱分量识别为所述功率谱的主要频谱分量。