金属粉末制造用等离子体装置及金属粉末的制造方法

摘要

本发明涉及金属粉末制造用等离子体装置，其具备：反应容器；在与反应容器内的金属原料间生成等离子体，使金属原料蒸发以生成金属蒸汽的等离子体枪；向反应容器供给搬运金属蒸汽的载气的载气供给部；对利用载气从反应容器输送的金属蒸汽冷却以生成金属粉末的冷却管。其中，冷却管具备在不使金属蒸汽和/或金属粉末与冷却用流体直接接触的情况下对其进行冷却的间接冷却区；和配置在间接冷却区后，通过使金属蒸汽和/或金属粉末与冷却用流体接触而对其进行冷却的直接冷却区。冷却管以长度方向下游侧位于上方的方式相对水平方向倾斜10～80°地设置于反应容器，用于除去附着于冷却管内壁附着物的刮板从冷却管的长度方向下游端嵌插到冷却管内。

主权项

一种金属粉末制造方法，其包括：准备金属粉末制造用等离子体装置的工序；使用所述金属粉末制造用等离子体装置制造金属粉末的工序，所述金属粉末制造用等离子体装置具备：反应容器，其中被供给金属原料；等离子体枪，该等离子体枪在其与所述反应容器内的金属原料之间生成等离子体，使所述金属原料蒸发以生成金属蒸汽；载气供给部，其向所述反应容器内供给用于搬运所述金属蒸汽的载气；冷却管，具有与所述反应容器连通的上游端、在冷却管长方向上位于所述上游端相反侧的下游端、包含所述上游端的第一部分以及包含所述下游端的第二部分，所述第二部分与所述第一部分相比位于下游侧，该冷却管对利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽边从所述上游端向所述下游端输送边进行冷却，以生成金属粉末，刮板，其从所述冷却管的所述下游端嵌插到所述冷却管内，并用于除去附着于所述冷却管的内壁的附着物，其特征在于，所述制造金属粉末的工序在使所述刮板在所述冷却管的所述第二部分待机的状态下进行。