发明名称 基于图像检测和研磨盘表面自生长的精确修复机构
摘要 本发明公开了一种基于图像检测和研磨盘表面自生长的精确修复机构,包括矩形小喷头、高倍摄像头、两根滚珠丝杆、研磨盘,所述矩形小喷头安装在第一滚珠丝杆上,并在研磨盘上方沿径向匀速移动,所述矩形小喷头均匀喷洒混有磨粒的UV光固化涂料在研磨盘表面,开始进行研磨盘表面的自生长,所述矩形小喷头两侧还安装两根UV光灯管,所述高倍摄像头安装在第二滚珠丝杆上,并在研磨盘上方沿径向隔一段时间移动一段距离,拍摄研磨盘表面状况进而通过图像检测技术分析出研磨盘表面平整度,所述矩形小喷头在喷洒时,根据分析的结果对平整度不够的区域进行定点补偿。采用上述机构,对研磨盘修复更加简单快捷且无需拆卸研磨盘,修复后研磨盘表面更加平整。
申请公布号 CN104907934B 申请公布日期 2017.04.12
申请号 CN201510342573.7 申请日期 2015.06.18
申请人 浙江工商大学 发明人 谢毅
分类号 B24B53/017(2012.01)I;B24B49/12(2006.01)I 主分类号 B24B53/017(2012.01)I
代理机构 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 代理人 吴秉中
主权项 基于图像检测和研磨盘表面自生长的精确修复机构,包括矩形小喷头(6)、高倍摄像头(3)、两根滚珠丝杆、研磨盘(1),其特征在于:所述矩形小喷头(6)安装在第一滚珠丝杆(7)上,并在研磨盘(1)上方沿径向匀速移动,所述矩形小喷头(6)均匀喷洒混有磨粒的UV光固化涂料在研磨盘(1)表面,开始进行研磨盘(1)表面自生长,所述矩形小喷头(6)两侧还安装两根UV光灯管(8),所述高倍摄像头(3)安装在第二滚珠丝杆(4)上,并在研磨盘(1)上方沿径向隔一段时间移动一段距离,拍摄研磨盘(1)表面状况进而通过图像检测分析出研磨盘(1)表面平整度,所述矩形小喷头(6)在喷洒时,根据分析的结果对平整度不够的区域进行定点补偿。
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