一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置及方法

摘要

本发明公开了一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置及方法，阴极板为带有小孔的金属板，设置于电解液槽中，控制系统控制电解加工机床做x、y和z向运动，使夹持在电解加工机床夹头的工件位于阴极板小孔中心，且浸入电解液中，电解加工机床上的电主轴带动工件旋转，霍尔电流传感器检测直流脉冲电源电流，电流信号传递给控制系统，控制系统根据电流信号的大小，动态小幅调整直流脉冲电源的电压幅值，从而加工得到高回转精度的柱状电极。本发明通过控制加工过程中电场流场均匀，保证加工电极的高回转精度，并提高了加工的稳定性和精度；同时反馈控制加工的电流，从而保证加工的电极形状为圆柱状。

主权项

一种高回转精度微柱状电极在线电化学制备装置，其特征是：包括直流脉冲电源、电解加工机床、控制系统和霍尔电流传感器，其中，阴极板为带有小孔的金属板，设置于电解液槽中，控制系统控制电解加工机床做x、y和z向运动，使夹持在电解加工机床夹头的工件位于阴极板小孔中心，且浸入电解液中，电解加工机床的电主轴使工件保持旋转，以工件为阳极，阴极板为阴极，利用直流脉冲电源给工件和阴极板施加电压，霍尔电流传感器检测加工电流，并通过数据采集单元将电流信号传递给控制系统，控制系统根据电流信号的大小，动态小幅调整直流脉冲电源的电压幅值，使加工的电流随时间按理论规律变化。