缺陷检查方法

摘要

提供一种能够高精度地检测裂纹等缺陷的缺陷检查方法。缺陷检查方法包括：得到拍摄图像的步骤，从多个方向对该拍摄图像进行扫描，关于所述扫描方向，针对各像素M，在其辉度比扫描方向的两侧的第1邻接像素K、O低、且垂直于扫描方向的两侧的第2邻接像素C、W的辉度比扫描方向的两侧的第3邻接像素A、E和U、Y低的情况下，赋予高的评价值。基于该各像素的评价值，按各扫描方向选拔出选拔像素，接着按各扫描方向对选拔像素进行连结。去除经过了连结步骤的像素中偏离预定形状的像素。

主权项

一种缺陷检查方法，其特征在于，包括：对被检查物的表面进行拍摄而得到包括多个像素的拍摄图像的步骤；从预先确定的多个方向的各个独立使用该方向用的扫描过滤器对拍摄图像进行扫描，关于多个扫描方向的各个，针对各像素，在其辉度比扫描方向的两侧的第1邻接像素的辉度高、且垂直于扫描方向的两侧的第2邻接像素的辉度比该第2邻接像素的扫描方向的两侧的第3邻接像素的辉度高的情况下赋予高的评价值的步骤；基于与所述多个扫描方向的各个对应的像素的评价值，选拔出选拔像素的步骤；针对所述多个扫描方向的各个进行选拔像素的连结的步骤；以及对各个扫描方向的选拔像素进行合成，去除选拔像素中偏离预定的形状的选拔像素的步骤。