荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法

摘要

荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。本发明的目的是提供如下功能：关于在测定中发生了移动的试样，根据试样图像的变化而自动检测发生了移动的情况。作为解决手段，具有拍摄被测定物的试样图像的摄像部，具有临时保存测定开始时刻的试样图像并与测定中或测定后的最新的试样图像进行比较的功能，还具有如下功能：如果图像处理的结果是差分为阈值以上，则通过显示部、蜂鸣音、信号塔、向远程管理终端的通知，对测定者发出警告。

主权项

一种荧光X射线分析装置，其对试样台上的被测定物照射来自X射线源的X射线，测定从所述被测定物产生的荧光X射线，从而对所述被测定物的构成元素进行分析，其特征在于，所述荧光X射线分析装置具有：输入部，其输入必要的信息；摄像部，其取得所述被测定物的测定部位图像；以及运算部，其对来自所述输入部的输入信息和由所述摄像部取得的图像进行处理/保存，该运算部具有移动判定机构，该移动判定机构将所述运算部根据所述摄像部取得的第一图像和第二图像中的最新图像求出的、基于这2个图像中的被测定物的位置状态的各自特性值的差值与预先确定的基准值进行比较，判定所述被测定物有无移动，其中，所述第一图像包含所述被测定物的测定区域，是即将开始测定前的图像，所述第二图像是在与该第一图像对应的位置的测定时每隔规定时间取得的，基于所述被测定物的位置状态的特性值是所述图像的各像素的亮度值。