离子源

摘要

提供能够除去不需要的离子的离子源。靶材（2）配置在被排气成真空的真空容器（1）内，且通过激光的照射而产生多个价数的离子。加速电极（4）被施加电压，以使由靶材（2）产生的离子加速。中间电极（5）设置在靶材（2）与加速电极（4）之间，且被施加与施加于加速电极（4）的电压反向的电压。

主权项

一种离子源，将所射出的离子输送到后级的直线加速器，其特征在于，具备：真空容器，被排气成真空；靶材，配置在上述真空容器内，通过激光的照射而产生多个价数的离子；加速电极，被施加电压，以使由上述靶材产生的离子加速；以及中间电极，设置在上述靶材与上述加速电极之间，且被施加与施加于上述加速电极的电压反向的电压，避免从离子团以及多个价数的离子中流入不需要的离子，在与由上述靶材产生的多个价数的离子中的预先确定的价数的离子的飞行速度相应的定时，以使得仅在上述预先确定的价数的离子通过的期间使电压降低的方式对上述中间电极施加脉冲驱动电压，以将上述预先确定的价数的离子朝上述加速电极输送，将所施加的电压值设定成与在离子源中作为目标的靶材物质的多价离子相应的最佳值。