利用不良样本的缺陷地图判定问题设备的方法及其装置

摘要

本发明提供利用由不良品构成的整个不良样本的缺陷地图（defect map）判定不良样本中的多个不良品所通过的设备中哪些设备为问题设备的方法及装置。根据本发明的问题设备判定方法，包含：生成样本缺陷地图的步骤，该样本缺陷地图表示作为划分为多个单元的产品的集合的不良样本的各个单元的缺陷分布；对于不良样本中的各产品所通过的设备中的至少一个设备生成设备缺陷地图的步骤，针对特定设备的设备缺陷地图表示不良样本中的产品中通过了特定设备的产品的各个单元的缺陷分布；针对生成了设备缺陷地图的各个设备，计算样本缺陷地图和设备缺陷地图之间的地图相似度的步骤；以针对各设备的地图相似度为基础，判定相对于不良样本的问题设备的步骤。

主权项

一种问题设备判定方法，其特征在于，包含：生成样本缺陷地图的步骤，该样本缺陷地图表示作为划分为多个单元的产品的集合的不良样本的各个单元的缺陷分布；对于所述不良样本中的各产品所通过的设备中的至少一个设备生成设备缺陷地图的步骤，针对特定设备的所述设备缺陷地图表示所述不良样本中的产品中通过了所述特定设备的产品的各个单元的缺陷分布；针对生成了所述设备缺陷地图的各个设备，计算所述样本缺陷地图和所述设备缺陷地图之间的地图相似度的步骤；以针对各设备的所述地图相似度与不良占有率之比即相似度比为基础，判定相对于所述不良样本的问题设备的步骤，所述不良占有率是所述样本缺陷地图的整个不良单元个数中通过了特定设备的所述不良样本中的产品中所包含的不良单元的个数所占的比率。