外观检查装置及外观检查方法

摘要

本发明涉及外观检查装置及外观检查方法。通过准确地拍摄工件来高精度地进行对工件的外观检查。工件的外观检查装置（20）对由多面体构成、且具有引线（Wa、Wb、Wc、Wd）的工件（W）进行外观检查。外观检查装置（20）包括：吸附工件（W）并进行输送的输送嘴（3）；对工件（W）照射照明光的照明机构（L1、L2、L3、L4、L5、L5x、L5y、L6）；和工件（W）的拍摄机构（N1、N2、N3、N4、N5、N6）。照明机构（L5x）从工件（W）的与基准面（Ws0）相反的一侧对面（Ws4）从斜向照射光，照明机构（L5y）从工件（W）的与基准面（Ws0）相反的一侧对面（Ws6）从斜向照射光。

主权项

一种外观检查装置，对工件进行外观检查，所述工件由具有基准面的多面体构成，所述基准面包括第1边和与第1边相对的第2边，在基准面中的第1边侧的区域设有与第1边平行配置的多个突起物，在基准面中的第2边侧的区域设有与第2边平行配置的多个突起物，所述外观检查装置的特征在于，包括：输送工件的输送机构；对工件照射照明光的照明机构；和拍摄工件的突起物的拍摄机构，照明机构包括第1照明机构和第2照明机构，所述第1照明机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，仅将未被工件的主体遮挡的范围的照明光照射到在基准面中的第1边侧的区域与第1边平行配置的多个突起物，所述第2照明机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面，从与基准面相反的一侧斜向地照射照明光，仅将未被工件的主体遮挡的范围的照明光照射到在基准面中的第2边侧的区域与第2边平行配置的多个突起物，拍摄机构包括第1拍摄机构和第2拍摄机构，所述第1拍摄机构对包括基准面的第1边的与基准面相邻的面及第1边侧的突起物进行拍摄，所述第2拍摄机构对包括基准面的第2边的与基准面相邻的面及第2边侧的突起物进行拍摄。