发明名称 | 声波器件 | ||
摘要 | 一种声波器件,其包括:由含有二价元素和四价元素、或者二价元素和五价元素的氮化铝膜制成的压电膜;以及激发经由压电膜传播的声波的电极。 | ||
申请公布号 | CN103312288B | 申请公布日期 | 2017.04.12 |
申请号 | CN201310079212.9 | 申请日期 | 2013.03.13 |
申请人 | 太阳诱电株式会社 | 发明人 | 横山刚;岩崎誉志纪;西原时弘;恩田阳介 |
分类号 | H03H9/02(2006.01)I;H03H9/54(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
主权项 | 一种声波器件,包括:由含有二价元素和四价元素、或者二价元素和五价元素的氮化铝膜制成的压电膜;和激发经由所述压电膜传播的声波的电极,其中用所述二价元素和所述四价元素或者所述二价元素和所述五价元素替换所述氮化铝膜的铝原子。 | ||
地址 | 日本东京都 |