涂层装置

摘要

根据本发明的涂层装置包括：涂层机，具有喷射单元，上述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴；以及涂层输送机，使上述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动,且多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着上述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。因此，根据本发明的实施形态，在对构成喷射单元的多个喷嘴进行配置时，使得沿着X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同。由此，当从多个喷嘴分别排出涂层剂并滴涂到基板时，滴涂的多个滴点不会像以往一样重叠。

主权项

一种涂层装置，其中，包括：涂层机，具有喷射单元，所述喷射单元设有用于向基板喷射涂层剂的多个喷嘴；以及涂层输送机，使所述涂层机沿着X轴及Y轴方向进行水平移动，所述多个喷嘴沿着X轴及Y轴方向排列，并相互分开配置，沿着所述X轴及Y轴中的一个轴方向排列的多个喷嘴在另一轴方向上的位置相互不同，由沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向排列的多个喷嘴分别形成的涂布线与由配置于所述X轴及Y轴方向中的另一轴方向上的至少一个喷嘴涂布的涂布线形成为沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向重叠，且沿着所述X轴及Y轴方向中的另一方向排列的多个喷嘴沿着所述X轴及Y轴方向中的一轴方向的位置相互不同。