表面形状测定方法及表面形状测定装置

摘要

本发明的表面形状测定方法的特征在于，包括如下步骤：搜索对物体的表面进行扫描而取得的位移数据，来检测包含加工在物体表面上的槽的物体表面的概略范围的槽概略范围检测步骤(步骤STP2)；算出包含在概略范围内的槽的槽起点及槽终点的槽宽算出步骤(步骤STP3)；算出从槽起点和槽终点的位置限定在槽宽的规定比例的宽度的范围内的位移数据的最小值的最深位置检测步骤；算出在最深位置检测步骤中算出的所述位移数据的最小值与所述物体表面的高度之差作为加工在所述物体表面上的槽的深度的槽深算出步骤(步骤STP4)。

主权项

一种表面形状测定方法，其特征在于，包括如下步骤：位移数据取得步骤，通过向物体表面照射光线而进行测定的光学式位移计对所述物体表面进行扫描，取得所述物体表面相对于所述光学式位移计的位移数据；槽概略范围检测步骤，搜索所述位移数据来检测包含加工在所述物体表面上的槽的物体表面的概略范围；槽宽算出步骤，算出包含在所述概略范围内的所述槽的槽起点及槽终点；最深位置检测步骤，算出从所述槽起点与所述槽终点的中央位置限定在所述槽宽的规定比例的宽度的范围内的所述位移数据的最小值；以及槽深算出步骤，算出在所述最深位置检测步骤中算出的所述位移数据的最小值与所述物体表面的高度之差作为加工在所述物体表面上的槽的深度。