一种矿用本质安全型薄膜压力传感器

摘要

本实用新型涉及一种矿用本质安全型薄膜压力传感器，包括一个内装电连接器的外壳和一个上部插装入外壳内的压力接口座，压力接口座上端焊有薄膜压力敏感芯体，在压力接口座底部设有连接至薄膜压力敏感芯体内腔的油孔，薄膜压力敏感芯体的表面采用离子磁控溅射方法制作有应变电阻，在外壳内设置有信号调理电路板和信号转接电路板，其中信号转接电路板的输入信号端通过硅铝丝与薄膜压力敏感芯体表面的应变电阻连接，信号转接电路板的输出信号端与信号调理电路板的输入信号端连接，信号调理电路板的输出信号通过导线连接至电连接器。本实用新型产品具有测量精度高、温度特性好、抗震动冲击、抗电磁干扰以及频响特性优异的优点。

主权项

一种矿用本质安全型薄膜压力传感器，其特征在于：包括一个内装有电连接器(10)的外壳(8)和一个上部插装入外壳(8)内的压力接口座(4)，压力接口座(4)上端焊有一个带内腔的薄膜压力敏感芯体(7)，在压力接口座(4)底部设有连接至薄膜压力敏感芯体(7)内腔的油孔(1)，薄膜压力敏感芯体(7)的表面采用离子磁控溅射方法制作有应变电阻，在外壳(8)内按上下位设置有一块信号调理电路板(12)和一块信号转接电路板(13)，其中信号转接电路板(13)的输入信号端通过硅铝丝与薄膜压力敏感芯体(7)表面的应变电阻连接，信号转接电路板(13)的输出信号端与信号调理电路板(12)的输入信号端连接，信号调理电路板(12)的输出信号通过导线连接至电连接器(10)。