发明名称 |
透射电镜微栅 |
摘要 |
本发明涉及一种透射电镜微栅,包括依次层叠设置的第一金属层、碳纳米管层及第二金属层,其中,所述碳纳米管层夹持于所述第一金属层及第二金属层之间,且通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合,所述第一金属层包括多个第一通孔,所述第二金属层包括多个第二通孔,所述多个第二通孔与所述多个第一通孔一一对应分布于所述碳纳米管层相对的两个表面。 |
申请公布号 |
CN105185679B |
申请公布日期 |
2017.04.12 |
申请号 |
CN201410269195.X |
申请日期 |
2014.06.17 |
申请人 |
清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
发明人 |
魏洋;林晓阳;范守善 |
分类号 |
H01J37/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/20(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种透射电镜微栅,包括依次层叠设置的第一金属层、碳纳米管层及第二金属层,其特征在于,所述碳纳米管层夹持于所述第一金属层及第二金属层之间,所述碳纳米管层包括多个碳纳米管,该多个碳纳米管通过悬挂键与所述第一金属层及第二金属层键合,所述第一金属层具有多个第一通孔,所述第二金属层具有多个第二通孔,所述多个第二通孔与所述多个第一通孔一一对应分布于所述碳纳米管层相对的两个表面,且所述碳纳米管层相对的两个表面分别通过所述多个第一通孔和多个第二通孔部分暴露。 |
地址 |
100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室 |