超高纯六氟乙烷的制备方法

摘要

本发明提供了一种吸附法制备超高纯六氟乙烷的方法，采用选自3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛、NaX型分子筛、CaX型分子筛和活性炭中的一种、两种或三种以上组合的吸附剂脱除六氟乙烷粗品中的杂质，所述吸附剂在吸附前经活化处理。制备的六氟乙烷纯度可达99.999%甚至99.9999%及以上，制备的超高纯六氟乙烷可用作半导体/电子工业的刻蚀气体/清洗气体。

主权项

一种超高纯六氟乙烷的制备方法，其特征在于采用选自3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛、NaX型分子筛和活性炭中的一种、两种或三种以上组合的吸附剂脱除六氟乙烷粗品中的杂质；所述吸附剂在使用前经活化处理，3A型分子筛、4A型分子筛、5A型分子筛和NaX型分子筛吸附剂在马弗炉中活化，活化温度为200～300℃，活性炭吸附剂在烘箱中活化，活化温度为120～180℃；所述六氟乙烷粗品中的杂质为CFC‑13、HFC‑23、CFC‑115、HFC‑125、HFC‑143a和HFC‑152a。