金属弹性构件、微机械装置、微机械装置的制造方法、摆动控制装置以及摆动控制方法

摘要

本发明提供一种金属弹性构件，其用于微机械装置（1）的梁部（4），该微机械装置（1）包含至少一个可动部（3）、固定部（2）、从两侧将可动部（3）支承于固定部（2）的一对梁部（4），能够使可动部绕以梁部（4）为扭转旋转轴的轴心（P）摆动，其中，金属弹性构件包含：规定长度的金属棒状部（4a）；固定侧垫片（4b），其形成于金属棒状部（4a）的一端侧且固定于固定部（2）；以及可动侧垫片（4c），其形成于金属棒状部（4a）的另一端侧且固定于可动部（3），至少金属棒状部（4a）使用除机械加工法以外的物理或化学加工法而成形为截面积1mm²以下，且使可动部（3）在频率为150Hz～500Hz的范围内摆动。

主权项

一种金属弹性构件，其用于微机械装置的梁部，该微机械装置包括至少一个可动部、固定部、从两侧将所述可动部支承于所述固定部的一对所述梁部，能够使所述可动部绕以所述梁部为扭转旋转轴的轴心摆动，该金属弹性构件的特征在于，所述金属弹性构件包含：规定长度的金属棒状部，其使所述可动部摆动；固定侧垫片，其形成于所述金属棒状部的一端侧且固定于所述固定部；以及可动侧垫片，其形成于所述金属棒状部的另一端侧且固定于所述可动部，至少所述金属棒状部由利用应力退火法轧制后的不锈钢材、碳素工具钢材、或者冷轧钢材中的任一种金属构成，并使用除机械加工法以外的物理或化学加工法而成形为截面积1mm²以下。