用于双腔室气体放电激光器系统中的自动气体优化的系统与方法

摘要

公开了用于在重新充填后在诸如准分子激光器之类的双腔室气体放电激光器的腔室内执行气体优化的系统与方法。以较低功率输出来持续地激发该激光器，且如果有必要则放出放大器激光腔室内的气体，直到放电电压满足或超过最小值，同时压力没有降至低于最小值。增加功率输出，且如果有必要则再次放出气体直到电压和压力满足或超过最小值。然后以接近在操作中的激光器的预期激发的脉冲串形式来激发该激光器，且如果有必要放出气体直到放电电压满足或超过最小值且输出能量满足或超过最小值，同样同时没有将腔室内的压力下降至低于最小值。一旦提供了最小值，不需手动交互，快速运行该过程。

主权项

一种双腔室气体放电激光器光源，包括：主振荡器，具有包括含卤素的激光介质气体的激光腔室；放大器，具有包括含卤素的激光介质气体的激光腔室；气体优化系统，包括控制器，所述控制器在所述放大器激光腔室内重新充填气体之后自动地执行优化方案，所述优化方案包括：第一序列，其中以第一速率和目标能量以连续模式来激发激光器同时测量放电电压，且如果所述放电电压低于预定最小值，将气体从放大器腔室放出直到所述放电电压等于或大于所述最小值；第二序列，其中以第二速率和目标能量以连续模式来激发激光器同时测量放电电压，且如果所述放电电压低于预定最小值，将气体从放大器腔室放出直到所述放电电压等于或大于所述最小值；以及第三序列，其中以目标能量以脉冲串来激发该激光器同时测量放电电压和主振荡器输出能量，且如果所述放电电压低于预定最小值、或所述输出能量低于另一个预定最小值，将气体从放大器腔室内放出直到所述放电电压和输出能量等于或大于各自的预定最小值。